橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開(kāi)發(fā)和制造過(guò)程中。
基本原理：
橢偏儀的原理主要依賴(lài)于光的偏振現(xiàn)象。當(dāng)光線通過(guò)某些物質(zhì)時(shí)，其偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化。橢偏儀利用這一特性，通過(guò)精確控制入射光的偏振態(tài)，并測(cè)量經(jīng)過(guò)樣品后光的偏振態(tài)變化，進(jìn)而分析樣品的性質(zhì)。
橢偏法測(cè)量具有如下特點(diǎn)：
1.能測(cè)量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。
2.是一種無(wú)損測(cè)量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱(chēng)重法、定量化學(xué)分析法簡(jiǎn)便。
3.可同時(shí)測(cè)量膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù)。因此可以作為分析工具使用。
4.對(duì)一些表面結(jié)構(gòu)、表面過(guò)程和表面反應(yīng)相當(dāng)敏感。是研究表面物理的一種方法。
