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關(guān)于鍵合機的結(jié)構(gòu)特點,以下有詳細(xì)說明

更新時間:2021-12-27  |  點擊率:4482
  鍵合機是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化,轉(zhuǎn)換時間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué),研發(fā)機構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。本產(chǎn)品與大批量制造工具上的鍵合室設(shè)計相同,鍵合程序易于轉(zhuǎn)移,可輕松擴大生產(chǎn)規(guī)模。
 

 

  鍵合機的結(jié)構(gòu)說明:
  1、爐體:采用雙層水夾層結(jié)構(gòu),爐壁溫度不超過60℃,內(nèi)外壁為不銹鋼拋光。上、下法蘭組焊成筒型結(jié)構(gòu),法蘭平面開設(shè)密封槽。采用氟圈真空密封,并設(shè)水冷裝置。爐體設(shè)有抽真空接口、充氣接口、放氣接口、真空壓力表接口、真空規(guī)管接口、溫度測量接口、電極法蘭接口、冷卻水進(jìn)出接口等。
  2、爐蓋:采用雙層夾層封頭結(jié)構(gòu),內(nèi)外壁為304不銹鋼,爐蓋上設(shè)有水冷不銹鋼上壓頭、壓頭鎖緊裝置、爐蓋導(dǎo)向裝置、泄壓閥、爐蓋緊鎖等裝置。爐蓋可方便的提起和安裝。
  3、爐底:采用雙層水夾層結(jié)構(gòu),水冷不銹鋼下壓頭、壓力傳感器、真空密封結(jié)構(gòu)、液壓缸、可調(diào)節(jié)高度位移傳感器等。
  4、爐架:由四根立柱與架臺連接,上下承壓板采用碳鋼煮黑處理,橫放在四根立柱上,采用M24螺母進(jìn)行鎖緊、固定。耐壓強度高,光潔度及平衡度高。
  5、壓頭:上、下壓頭采用高純石墨塊制作壓成。配合陶瓷隔熱片、云母隔熱片與設(shè)備水冷壓頭組成一整套完備的結(jié)構(gòu)設(shè)計。
  6、真空獲得系統(tǒng):由一臺機械泵以及高真空手動擋板閥,波紋管等組成。
  7、真空測量系統(tǒng):采用電阻真空計測量真空度。
  8、液壓系統(tǒng):采用電動輸入方式。由液壓站配有進(jìn)口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器、液壓缸等相關(guān)液壓裝置,壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設(shè)定自動調(diào)節(jié)壓力,并能實現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。
  9、溫控系統(tǒng):采用日本島電溫控器配合固態(tài)繼電器和K型熱電偶形成閉環(huán)PID控溫,控溫精準(zhǔn),誤差在1℃內(nèi)。
  10、水冷系統(tǒng):由各種管道閥等相關(guān)裝置組成,具有水壓欠壓、斷水聲光報警自動切斷電源功能。
  11、發(fā)熱組件、隔熱屏:發(fā)熱組件采用氧化鋁纖維加熱模塊的結(jié)構(gòu),方便模塊化更新和維護(hù),保溫性能好、加熱均勻、輻射面大、耐熱沖擊性好。保溫層和發(fā)熱分體,易維護(hù)和取裝。
  13、充氣系統(tǒng):由各種管道及閥門組成,并配有放氣閥,充氣管路上裝有針閥。并配有奧托尼克斯壓力變送器和日本進(jìn)口CKD閥,能實現(xiàn)自動充放氣功能,自動保壓、穩(wěn)壓。
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