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把這些知識(shí)點(diǎn)掌握好,新手也能很好的使用電鏡隔振臺(tái)

更新時(shí)間:2024-10-23  |  點(diǎn)擊率:2345
  電鏡隔振臺(tái)是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng),有利于為基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等領(lǐng)域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。本產(chǎn)品可在寬頻率范圍內(nèi)進(jìn)行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設(shè)備等提供優(yōu)異的隔振性能。
 
  工作原理:
  安裝有測量和制造設(shè)備的地板或多或少會(huì)有振動(dòng)。如果這些振動(dòng)對(duì)設(shè)備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺(tái),以便營造適合該設(shè)備的條件。
 
  電鏡隔振臺(tái)使用電氣控制,通過對(duì)傳入振動(dòng)施加反方向的力來立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監(jiān)測振動(dòng),并基于該信息,執(zhí)行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續(xù)產(chǎn)生最佳的振動(dòng)隔離狀態(tài)。隔振臺(tái)擅長于10Hz以下的低頻范圍內(nèi)的隔振。
 
  電鏡隔振臺(tái)采用先進(jìn)的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng),包括水平和垂直方向。本產(chǎn)品平臺(tái)利用控制器內(nèi)的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動(dòng),通過將外界的壓力信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號(hào)來消除傳入振動(dòng)。隔振系統(tǒng)利用一個(gè)反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。可為實(shí)驗(yàn)室中對(duì)震動(dòng)敏感的設(shè)備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來自地面的震動(dòng),提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。

  應(yīng)用范圍:
  1、超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM);
  2、光刻工具;
  3、高精度計(jì)量工具;
  4、光譜儀器。
 
  電鏡隔振臺(tái)的性能優(yōu)勢: 
  1、5-20ms響應(yīng)時(shí)間;
  2、無低頻共振、無空氣要求;
  3、低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡單;
  4、系統(tǒng)主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除;
  5、緊湊、模塊化的多功能設(shè)計(jì);
  6、穩(wěn)定性高,能*連續(xù)使用多年;
  7、六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz-200Hz主動(dòng)隔振,>200Hz被動(dòng)隔振)。
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